Биоптик IM-500

Инвертированный оптический микроскоп Биоптик IM-500

Микроскоп применяется для визуального контроля кристаллов полупроводниковых микросхем и полупроводниковых приборов, установленных в корпус, контроля качества сборки микросхем и полупроводниковых приборов (внутренний визуальный контроль). Имеет возможность наблюдения в поляризованном, флуоресцентном свете, применения ДИК. Увеличенное рабочее расстояние. Даже объективы больших увеличений с рабочим расстоянием не менее 3 мм.

Уточнить стоимость

Микроскоп часто применяется как арбитражный — для идентификации и классификации выявленных дефектов. К таким микроскопам обычно предъявляются следующие требования:
— объективы со сверхдлинным рабочим расстоянием и увеличением от 2 до 1000 крат.
— методы контрастирования в отраженном свете: темное поле, поляризованный свет, флуорисценция, дифферециально-итерференционный контраст.
— окуляр со встроенным микрометром.
— оснащение цифровой камерой.
— возможность создания изображений путем покадровой съемки и «сшивания» кадров в панорамы.

Особенности:

«Прямой» тринокулярный тубус (дает прямое, а не перевернутое изображение, удобно для работы с крупными подложками, которые необходимо регулярно перемещать)

Возможность установки механического измерительного столика диапазоном перемещения 100х100 мм, точностью измерений до 0,001 мм.

возможность установки моторизированного предметного столика с возможностью панорманого сканирования, диапазоном перемещения 50х50мм или 100х100мм, скорость перемещения 0,05-0,2мм/с, точность позиционирования 0,01 мм. Параллельность сканирования <10μм/100мм.

возможность замены обчного механизма фокусировки на моторизированный механизм с автофокусом и пультом дистанционного управления. Точность позиционирования <0,01 мм. Тип соединения с управляющей станцией – USB. ПО для управления механизмом фокусировки с возможностью накопления стеков и последующей процедуры стекинга (3Dсканирование).

ДИК система для увеличений 10х,20x,50х (объектив и ДИК призма)

Возможность установки компактного флуоресцентного модуля на базе LED 5W. Наборы светофильтров и дихроичных зеркал под заказ. Производства OMEGA или CHROMA.

Возможность установки модуля спектрофотометрии. Позволяет проводить фотометрирование образцов с оптическим разрешением до 0,78 nm. Автоматическое определение координат цвета и координат цветности различных объектов, создание банка данных различных объектов с автоматизацией поиска по цветовым характеристикам, универсальный цветоанализатор, дающий возможность определять цветовые характеристики различных микрообъектов и микроучастков макрообъектов. Диапазон чувтствительности монохроматора 200-1100nm.

Технические характеристики*:

Оптическая система	На бесконечность, рассчетная длина тубуса f=200mm
Головка	Тринокулярная, угол наклона 30°, вращаемая на 360°
Окуляры	EWF10x/26mm, WF10x/22mm с микрометром 0.1mm/Div
Infinity LWD B/D планахроматические объективы для темного и светлого поля	5x/0.20 (W.D. 14.47mm)
	10x/0.25 (W.D. 16.0mm)
	20x/0.40 (W.D. 10.5mm)
	50x/0.55 (W.D. 5.1mm)
Система фокусировки	Моторизированная, шаговый двигатель, скорость перемещения 0.05mm/s — 0.2mm/s, диапазон перемещения 50mm
Револьверная головка	Четырехгнездный, с портом для ДИК (DIC)
Моторизированный столик	вариант 100	вариант 50
	Размер: 180x180mm
	Диапазон перемещения: 100X100mm	Диапазон перемещения: 50X50mm
	Направляющие: роликовые
	Червяк: классный（толщина 1mm）
	Класс червяка: 2μm
	Максимальная скорость: 10mm/sec
	Точность репозиционирования: 2μm
	Точность позиционирования: 4μm
	Допуск на линейные искажения: 5μm
	Допуск на параллельность: <15μm/100mm	Допуск на параллельность: <10μm/50mm
Система управления	Тип контроллера: SCM	Тип контроллера: FPGA
	Подключение: USB	Подключение: PCI
	Тип двигателя: двухфазовый шаговый мотор	Тип двигателя: сервопривод
	Количесвто управляемых осей: три
	Перемещения: ручное или автоматическое
	Специализированное ПО
	Тип ПО — кастом	Тип ПО: NC Programming
Фильтры	Голубой, зеленый, нейтральный
Осветительная система	Отраженный свет (Epi), Kohler, галогенная лампа, 12V50W или 24V100W, регулировка яркости, полевая и апертурная диафрагма, флуоресцентный осветитель LED 5W
	Проходящий свет: галогенная лампа 24V100W или LED 5W, регулировка яркости
Поляризация	Анализатор вращаемый на 360°,поляризатор. Возможность полного удаления системы поляризации из оптического пути.
Адаптер камеры	0.3x, 0.5х, 1х C-Mount
Антивибрационное основание	Мраморная плита
Источник питания	Универсальный AC 85-260V,
Калибровка	Объект-микрометр 0.01mm/Div